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產(chǎn)  地：更新時間：2021-01-15 18:09

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重現(xiàn)性

<0.002MM

外形尺寸(L×W×H)

541×460×705mm

解析力標準

0.4um

臺面大小

460×313mm

位移驅(qū)動

0.1um

機臺重量

80kg

線性精度

±(2+L/150) um

放大倍數(shù)

15X-100X

精度

±2um

臺面荷重

36kg

X行程

200mm

測量速度

500mm/min

Y行程

100mm

CCD

SONY高清晰

 

 


產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹



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