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AES俄歇電子能譜專輯之儀器設(shè)備篇

2024-08-26 09:23:09

***、超高真空(UHV)系統(tǒng)

二、電子源系統(tǒng)

三、能量分析器系統(tǒng)

四、五軸樣品臺(tái)

五、離子槍

氬氣離子槍作為AES的濺射源,可對(duì)材料進(jìn)行表面清潔及縱向深度組成與結(jié)構(gòu)分析。離子槍通過(guò)發(fā)射的電子束撞擊氬氣氣體分子,使其電離成帶正電的離子,隨后被聚焦和加速,形成***個(gè)高能離子束,然后轟擊到樣品表面。

圖6.深度剖析結(jié)果對(duì)比:(左)Zalar Rotation,(右)非Zalar Rotation。

PHI 710作為納米尺度的表面分析技術(shù),提供了***高穩(wěn)定性的 AES 成像平臺(tái)。該系統(tǒng)集成了隔聲罩、低噪聲電子系統(tǒng)、穩(wěn)定的樣品臺(tái)和可靠的成像匹配軟件,可實(shí)現(xiàn)AES對(duì)納米***形貌特征的采譜和成像。此外,PHI 710具有強(qiáng)大的可擴(kuò)展性,用戶可根據(jù)研究需求,靈活配置冷脆斷樣品臺(tái)、能量色散X射線能譜(EDS)、聚焦離子束(FIB)、電子背散射衍射(EBSD)和背散射電子(BSE)探測(cè)器等功能模塊。這些關(guān)鍵配置協(xié)同工作,共同賦予了PHI 710掃描俄歇納米探針系統(tǒng)無(wú)與倫比的分析能力與靈活性,使其成為材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域不可或缺的高端分析設(shè)備。


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